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FILM黃光制程平行曝光機系統(tǒng)有哪些特點及參數(shù)?

發(fā)布時間:2022-07-22 08:53:48 人氣:

平行曝光機系統(tǒng)有哪些特點及參數(shù)?相信不少人是有疑問的,今天東莞正凱機電就跟大家解答一下!

平行曝光機專門用于FILM黃光制程而設(shè)計制作的專用設(shè)備,系統(tǒng)采用進(jìn)口平行光源、雙工位抽屜進(jìn)出曝光平臺交替工作進(jìn)行FILM濕膜、干膜曝光。雙工位平臺真空吸附將FILMMASK貼緊。

平行曝光機設(shè)備規(guī)格以及主要技術(shù)指標(biāo)

◆產(chǎn)品規(guī)格:有效曝光面積400MM x 500MM

曝光平臺面積> 500MM x 600MM

◆電源: AC380V 3f 50HZ 7KVA

◆機臺外尺寸: W1350MM x L3250MM x H2350MM

◆曝光方式:單面曝光,玻璃VS玻璃x 2組,采用電磁鎖控制

◆曝光燈管: 5KW x 1PCS(平行光曝光燈) 曝光光強> 20MW/Cm,燈管保用800H

◆光學(xué)系統(tǒng):采用進(jìn)口曲面MIRROR反射光學(xué)系統(tǒng)

◆真空系統(tǒng): 400MMHG以上

◆曝光精度:線路寬30UM,線間距30UM

◆點燈計時:配置時間計時器,可清零

◆平臺平面精度: 0.02MM內(nèi)曝光機

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